富创精密
半导体设备精密零部件公司专注于金属材料零部件精密制造技术，主要产品包括工艺零部件、结构零部件、模组产品和气体管路四大类，应用于半导体设备、泛半导体设备及其他领域。公司是全球为数不多的能够量产应用于7纳米工艺制程半导体设备的精密零部件制造商。
蓝英装备
智能制造+光刻机清洗+机器人及应用公司在人工智能产业上有技术储备，清洗机所使用的SCARA机器人为自主研发，设计，制造。同时也储备了适用于工业4.0的相关技术。瑞士子公司UCM AG为ASML及其供应商提供极紫外光刻机（EUV）的光学系统相关关键部件的清洗设备。
张江高科
参股上海微电子+光刻机+张江科学城+创投网络传闻上海微电子和HW在28纳米DUV研发方面已取得了重大进展，公司间接持有上海微电子14.21%股权。公司旗下微装公司是国内唯一一家研发、生产以及销售高端光刻机的企业，也是全球第四家生产IC前道光刻机的企业。在先进封装光刻机等领域，其国内市场占有率超过80%，全球市场占有率为40%。
